W16型微热板气体传感模组

W16型微热板气体传感模组是一套基于MEMS微热板16元件阵列的模块化设备。其由三部分组成：16元件微热板器件及基板、调理电路板、供电通讯模块。16元件微热板器件采用MEMS工艺，通过光刻溅射的方式在陶瓷基板上沉积加热器、测温电阻、插齿，16个通道可单独加热、控温。调理电路板可以高速测量16路电阻信号，电阻测量范围100Ω-1GΩ，误差小于5%。供电通讯模块可以通过USB或者WIFI等方式连接PC机，进行数据获取、存储与处理。

               W16型微热板传感模组实物图 

        16元件阵列器件实物图                      

性能参数

模组软件界面

高速变温效果（0.2秒变温）