SMP01型传感器微加工平台

SMP01型传感器微加工平台是自主研发的传感器微加工集成平台，包括激光刻蚀、激光划片、紫外光刻/激光直写、多路微喷成膜、等离子微区沉积、辅助封装等功能，可低成本的实现气体传感器微制造与小批量生产。基于该平台，可研发多种类微型传感器，包括温湿度传感器，催化燃烧型、固体电解质型、阻抗型、光学型等类型气体传感器及其混合阵列，也可以基于多路微喷、等离子微区沉积等技术实现器件上原位的材料微纳结构可控成型。